必修

讓學生對於微機電系統有總體的概念，其市場應用與理論基礎的範圍，之後再針對微加工製程進行介紹，包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、封裝測試等。

微機電系統技術有別於半導體平面製造技術，自1980年代微小化之製程技術發達，使機械微小化的夢想得以實現，發展出多樣的感測器與致動器，微機電系統為一跨領域整合的技術，電子、電機、機械、生物、醫學、航太、化工、材料均可應用微機電技術，於微觀的領域創新。

1. 微機電系統之簡介
2. 微機電系統之應用與市場
3. 微影技術
4. 薄膜沉積
5. 蝕刻技術
6. 封裝接合技術
7. 其他微製造技術

1. Introduction to MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Lithography
4. Thin film deposition
5. Wet etching
6. Dry etching
7. LIGA Process