南台課程大綱
學年度 107學年第二學期 系所 電子系
課程名稱 微感測器及感測電路設計 班級 博研電子一甲,碩研電子一甲
授課教師 李大輝 點 閱 次 數 47
選修
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課程概述
本課程適合電機、電子、機械系及相關工程學系大學部高年級學生及研究所碩博士班修習。本課程除了介紹各種不同的感測機制(如壓電感測、電容感測、熱電感測與生醫感測)及其應用外,亦將使用MEMS分析軟體與電路模擬軟體(Cadence、SPICE)搭配學習,讓學生在就業上可以無縫接軌。本課程亦設計實作實驗,使修課學生可以實作演練,進而將整個學期的內容融會貫通。
課程目標
課程大綱
第1章 微感測器製程與系統應用介紹
1.1 微感測器的世界
1.2 製程與系統
1.3 感測器系統應用實驗
第2章 壓電式感測器之應用
2.1 壓電原理
2.2 壓電式感測器實驗與量測
第3章 電容式感測器之應用
3.1 基本原理
3.2 電容式感測器實驗與量測
第4章 電熱式感測器之應用
4.1 熱電效應
4.2 電熱式感測器實驗與量測
第5章 生醫感測器
5.1 生醫感測器之原理與應用
5.2 介電泳原理
5.3 介電泳式生醫阻抗感測器實驗與量測
第6章 感測器雜訊與干擾
6.1 雜訊來源與原理
6.2 感測器干擾與感測電路干擾
第7章 CMOS微機電製程與感測元件設計
7.1 CMOS微機電製程
7.2 微機電感測元件設計
第8章 感測電路設計與訊號處理
8.1 感測電路種類與原理
8.2 感測電路設計
英文大綱
Chapter 1. Introduction to Fabrication Technology and System Application of Microsensors.
1.1 Micro-sensors
1.2 Processes and Systems
1.3 Sensor System Application
Chapter 2. Piezoelectric Sensor Application.
2.1 Piezoelectric Effect
2.2 Measurement of Piezoelectric Sensor
Chapter 3. Capacitive Sensor Application.
3.1 Principle
3.2 Measurement of Capacitive Sensor
Chapter 4. Electro-Thermal Sensor Application.
4.1 Electro-Thermal Effect
4.2 Measurement of Electro-Thermal Sensor
Chapter 5. Biosensors.
5.1 Applications for Biosensors
5.2 Principle of Dielectrophoresis
5.3 Measurement of Biosensors with Dielectrophoresis
Chapter 6. Sensor Noise and Interference.
6.1 Noise Source and Principle of Noise
6.2 Interference to Sensors and Sensing Circuits
Chapter 7. CMOS MEMS Process & Sensor Design.
7.1 CMOS MEMS Process
7.2 MEMS Sensor Design
Chapter 8. Sensing Circuits and Signal Processing.
8.1 Principle for Sensing Circuits
8.2 Design of Sensing Circuits
下載
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