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南台課程大綱 |
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學年度 |
106學年第二學期
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系所 |
機械系 |
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課程名稱 |
微機電製程技術簡介
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班級 |
四技自控三甲,四技自控三乙,四技奈米三甲,四技奈米三乙,四技車輛三甲,四技車輛三乙
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授課教師 |
陳韋志 |
點 閱
次 數 |
82
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選修 |
選修
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課程概述 |
讓學生對於微機電技術有總體的概念，其市場應用與理論基礎的範圍，之後再細部解說微奈米加工製程的介紹。
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課程目標 |
使學生了解微機電技術，包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、其他特殊製程技術。
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課程大綱 |
1.微機電介紹
2.微機電之應用與市場
3.無塵室介紹
4.半導體之微機電製造
5.微影技術
6.薄膜沉積
7.濕蝕刻技術
8.乾蝕刻技術
9.特殊加工製程技術
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英文大綱 |
1. Introduction of MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Introduction of Cleanroom
4. MEMS-Fabrication for Semiconductor
5. Lithography
6. Thin Film Deposition
7. Wet Etching Technology
8. Dry Etching Technology
9. LIGA Process
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下載
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