南台課程大綱
學年度 107學年第一學期 系所 光電系
課程名稱 真空技術及半導體設備 班級 四技光電三甲,四技光電三乙
授課教師 涂瑞清 點 閱 次 數 31
選修
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課程概述
本課程主要在建立學生對於真空技術的基礎認知,內容包括真空定義、氣壓由來、氣壓量測技術、幫浦原理、真空系統維護等等的介紹,除了基礎原理之外,本課程亦提供產業資訊與技術的概況。
課程目標
(1) 瞭解真空技術及其於傳統產業及光電半導體產業之應用
(2) 瞭解壓力量測種類、原理及其應用
(3) 瞭解幫浦種類、工作原理及其應用
(4) 瞭解真空系統構造及其維護
課程大綱
1.真空定義
2.理想氣體動力論
3.氣流與氣導
4.氣體吸附及脫附
5.真空幫浦
6.氣壓量測
7.濺鍍真空系統
8.CVD/RIE濺鍍真空系統
9.磊晶真空系統
英文大綱
1.Definition of vacuum
2.The ideal gas law and kinetic theory
3.Gas flow and conductance
4.Gas adsorption and desorption
5.Vacuum pump
6.Vacuum measurement and pressure gauge
7.Sputtering tools
8.CVD/RIE tools
9.Epitaxy tools

下載
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