南台課程大綱
學年度 107學年第一學期 系所 光電系
課程名稱 光電材料檢測實務 班級 四技光電四甲,四技光電四乙
授課教師 鄭錫恩 點 閱 次 數 48
選修
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課程概述
介紹光電材料的各種檢測方法、原理及其應用。
課程目標
使學生了解各種光電材料檢測的方法與原理,使其更光電材料特性更為了解,有助於將來之就業與研究。
課程大綱
(1)電阻率之檢測
1.Two-point versus four-point probe兩點探針與四點探針量測法量測材料電阻率之比較
2.任意形狀樣品的電阻率量測方法(Van der Pauw method)
3.非接觸式量測電阻率的方法 (Contactless methods)
4.非接觸式量測材料厚度的方法: (1)微分電容探針、(2)超音波。
(2)摻雜濃度之檢測
1.電容-電壓法量測材料之載子濃度。
2. Hall量測法量測材料之載子濃度。
3.二次離子質譜儀 (SIMS)量測材料之摻雜濃度。
4. 水銀探針法量測材料之載子濃度。
5. 電化學C-V量測法量測材料之載子濃度之縱深分佈。
(3) 材料表面形貌及粗糙度之檢測
1. 電子顯微鏡 (SEM)檢測材料的表面形貌。。
2. 原子力顯微鏡(AFM)來檢測材料的表面粗糙度。
(4)材料結構與缺陷之檢測
1.穿透式電子顯微鏡(TEM)觀察材料的結構與缺陷情況及元件結構中各層之厚度。
2.X光繞射分析儀(XRD) 來觀察材料的晶體結構。
(5)光學特性之檢測
1.介紹光激發光(PL) 之發光頻譜量測及分析方法。
2.介紹電激發光(EL) 之發光頻譜量測及分析方法。
3.介紹冷陰極發光(CL) 之發光頻譜量測及分析方法。
4.介紹並比較以PL、 EL 、CL三種量測法所得到的頻譜所代表之意義。
(6) 材料組成成分與鍵結之檢測
1.以歐傑電子分析儀(AES)作深度分析、微小區域分析及成分分析。
2.能量散佈光譜儀(EDS)鑑定材料的化學組成。
3.X射線光電子能譜儀(XPS;ESCA) 檢測電子的束縛能(Bonding energy)而得到材料的化學組成及其化學組態。
4.拉塞福背向散射分析儀(RBS)檢測樣品中元素的質量數、含量及深度分布。
5.利用傅氏轉換紅外線光譜(FTIR)來瞭解分子的結構。
英文大綱
下載
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