南台課程大綱
學年度 105學年第一學期 系所 光電系
課程名稱 積體電路製程 班級 夜四技光電三甲,夜四技光電四甲
授課教師 顏良吉 點 閱 次 數 75
選修
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課程概述
半導體產業為台灣重要產業之一, 本課程將介紹半導體產業鏈以及利用半導體材料製造積體電路之方法與製程特性。
課程目標
讓學員瞭解VLSI產業鏈,熟悉IC製造之流程、技術、及原理。
課程大綱
1、IC元件、設計、製造流程與未來趨勢
2、半導體材料特性
3、元件技術
4、矽晶圓製備
5、污染防治
6、積體電路製造流程
7、氧化製程
8、離子植入與退火
9、薄膜製程
10、黃光製程
11、蝕刻製程
12、平坦化製程
英文大綱
1. INTRODUCTION TO THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY
2. CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
3. DEVICE TECHNOLOGY
4. SILICON AND WAFER PREPARATION
5. CONTAMINATION CONTROL
6. IC FABRICATION PROCESS FLOW
7. OXIDATION PROCESS
8. ION IMPLANT AND ANNEALING
9. THIN FILM DEPOSITION
10. PHOTOLITHOGRAPHY
11. ETCH PROCESS
12. PLANARIZATION
下載
Doc Pdf
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