南台課程大綱
學年度 103學年第一學期 系所 機械系
課程名稱 微奈米加工技術 班級 四技奈米四甲
授課教師 莊承鑫 點 閱 次 數 40
選修
選修
課程概述
首先讓學生對奈米科技有初步的認識,並針對微奈米製程(Micro/Nano Fabrication)的重要關鍵技術,包括奈米圖案的轉移、電漿蝕刻技術、真空技術、掃描式探針顯微鏡技術、奈米壓印技術及奈米材料檢測技術等進行介紹。
課程目標
1. 對於微奈米加工技術之方法與製程有所了解。
2. 建立電子束、電漿及真空技術的概念。
3. 了解微奈米加工技術可應用的相關領域。
課程大綱
1. 應用於半導體產業之微奈米加工技術
2. 微影技術 (光學微影技術, 電子束微影技術)
3. 真空技術
4. 乾式蝕刻技術
5. 掃描探針顯微技術
6. 微放電加工技術
7. 奈米壓印技術
8. 滾印技術
英文大綱
1. Nanofabrication for Semiconductor Industry
2. Lithography (Photolithography, E-beam lithography)
3. Vacuum Technology
4. Dry Etching
5. SPM Technology
6. Micro EDM
7. NanoImprinting
8. Roll to Roll Process
下載
Doc Pdf Html
連結(一) 連結(二) 連結(三)

上一頁