南台課程大綱
學年度 103學年第一學期 系所 光電系
課程名稱 薄膜工程 班級 四技光電三乙
授課教師 許進明 點 閱 次 數 30
選修
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課程概述
本課程主要在建立學生對於薄膜工程技術的基礎認知,內容包括真空技術、物理氣相沉積法、化學氣相沉積法、磊晶技術等等技術的介紹,除了基礎原理之外,本課程亦提供產業資訊與技術的概況。
課程目標
(1) 瞭解真空技術及其於光電半導體產業之應用
(2) 瞭解薄膜工程技術及其於光電半導體產業之應用
(3) 瞭解薄膜成長機制並應用於改善光電半導體製程
課程大綱
ch1 薄膜工程技術之應用
ch2 真空技術
ch3 蒸鍍製程技術
ch4 濺鍍製程技術
ch5 化學氣相沉積技術
ch6 薄膜分析

英文大綱
ch1 Introduction of Thin Film Technology
ch2 Vacuum Technology
ch3 Evaporation
ch4 Sputtering
ch5 Chemical Vapor Deposition
ch6 Characterization of Thin Film

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