南台課程大綱
學年度 103學年第一學期 系所 光電系
課程名稱 薄膜工程 班級 夜四技光電三甲,夜四技光電四甲
授課教師 張勝博 點 閱 次 數 31
選修
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課程概述
本課程將介紹薄膜的應用、製作技術、及其性質測試方法。
課程目標
讓學員瞭解薄膜與塊材之差異,薄膜在半導體與光電等產業之應用,以及如何確認薄膜品質。
課程大綱
1. 薄膜應用簡介
1.1半導體薄膜
1.2介電薄膜
1.3磁性薄膜
1.4硬膜
2. 薄膜製作技術
2.1 基本設備
2.2 物理方法
2.3 化學方法
3. 薄膜性質測試
3.1 厚度
3.2 成份
3.3 物理性質
3.3 化學性質
英文大綱
下載
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