南台課程大綱
學年度 103學年第一學期 系所 機械系
課程名稱 薄膜製程技術 班級 四技自控三甲,四技自控三乙,四技奈米三甲,四技奈米三乙,四技車輛三甲,四技車輛三乙
授課教師 楊政峰 點 閱 次 數 65
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課程概述
從薄膜的歷史談起,接著介紹製作薄膜所需的相關真空設備與技術,製作薄膜所使用的物理蒸鍍、濺射鍍膜以及化學氣相沉積等鍍膜的方法。然後就薄膜的成長與微結構、薄膜特性及量測以及表面的物理化學性質作探討,最後就最被期待的鑽石薄膜以及薄膜在各種領域上的應用作介紹。
課程目標
隨著科技的日新月異,開發出具有更優良性質或新機能的材料乃是刻不容緩的課題。而在材料表面上附加一層具有優良物理和化學性質的薄膜,乃是提昇材料使用特性的一個簡單、經濟而有效的方法。藉由本課程了解溫度的量測、真空系統、各種乾式鍍膜的原理、製程以及薄膜的各種應用。
課程大綱
1. 溫度量測、真空系統
2. 電漿
3. 物理蒸鍍
4. 濺射鍍膜
5. 化學氣相蒸鍍
6. 薄膜的成長及微結構
7. 薄膜特性及量測
8. 表面的物理化學性質
9. 鑽石薄膜
10.薄膜的應用
英文大綱
1. Temperature Measurement、Vacuum System
2. Plasma
3. Physical Vapor Deposition
4. Sputtering
5. Chemical Vapor Deposition
6. Growth and Microstructure of Thin Films
7. Characteristics and Measurement of Thin Films
8. Physical and Chemical Properties of Surface
9. Diamond Film
10. Applications of Thin Films
下載
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