南台課程大綱
學年度 102學年第二學期 系所 光電系
課程名稱 真空技術及半導體設備實務 班級 碩研光電一甲
授課教師 鄭錫恩 點 閱 次 數 22
選修
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課程概述
本課程包含基礎理論及實務操作
基礎理論:真空基本理論、真空幫浦與真空計工作原理、各種半導體製程設備原理與應用介紹
實務操作:真空幫浦、真空計結構認識、真空系統操作,半導體製程設備操作
課程目標
課程大綱
1. 真空技術介紹
1-1真空概念及真空幫浦的工作原理
1-3.真空計的工作原理
1-4.真空配件、真空系統設計與操作
1-5.漏與測漏

2. 半導體製程設備介紹
2-1物理及化學氣相沉積系統
2-2 乾式及濕式蝕刻機
2-3 光阻塗佈與曝光機
2-4 化學機械研磨機
2-5 離子佈植
2-6 高溫爐管
英文大綱
1. Introduction to Vacuum Technology
1-1 Concept of Vacuum and Vacuum Pump
1-2 Vacuum Gauge
1-3 Vacuum Parts, Component and System
1-4 Leak and Leak Check

2. Introduction to Semiconductor Process Equipment
2-1 Physical and Chemical Vapor Deposition System
2-2 Dry and Wet Etching System
2-3 Track and Stepper
2-4 Chemically Machine Polishing
2-5 Ion Implanter
2-6 High Temperature Furnace
下載
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