南台課程大綱
學年度 102學年第二學期 系所 光電系
課程名稱 薄膜工程與應用 班級 碩研光電一甲
授課教師 吳文端 點 閱 次 數 19
選修
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課程概述
本課程主要在建立學生對於薄膜工程技術的基礎認知,內容包括真空技術、物理氣相沉積法、化學氣相沉積法、磊晶技術等等技術的介紹,除了基礎原理之外,本課程亦提供產業資訊與技術的概況。
課程目標
(1) 瞭解真空技術及其於光電半導體產業之應用
(2) 瞭解薄膜工程技術及其於光電半導體產業之應用
(3) 瞭解薄膜成長機制並應用於改善光電半導體製程
課程大綱
1. 薄膜工程技術簡介
2. 真空與真空系統
3. 蒸鍍技術
4. 化學氣相沉積
5. 濺鍍技術
6. 薄膜特性分析
英文大綱
1. Introduction to Thin Film technology
2. Vacuum and Vacuum System
3. Evaporation Technology
4. Chemical Vapor Deposition Technology
5. Sputter Deposition Technology
6. Characterization of thin film
下載
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