南台課程大綱
學年度 98學年第二學期 系所 機械系
課程名稱 微奈米製程與材料分析 班級 四技奈米四乙
授課教師 吳忠春,王聖璋,莊承鑫 點 閱 次 數 105
選修
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課程概述
介紹各種微奈米製程技術以及產業上的應用,並介紹微奈米材料特性的分析工具,包含粒徑分析、微結構分析、相分析、與光譜分析等分析技術與其應用,並邀請四位產業界的專家蒞臨本校做專題演講與產業趨勢剖析,讓選修本課程同學了解微奈米製程技術在產業上的應用,並了解微奈米材料的材料特性與相關分析工具的原理與應用。
課程目標
(1)瞭解微奈米製程技術的種類與原理,讓學生對於微奈米工程技術與微機電系統有總體的概念,其市場應用與理論基礎的範圍,之後再細部解說微奈米加工製程的介紹,包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、封裝測試等、奈米加工與量測。
(2)了解微奈米材料的材料特性與相關分析工具的原理與應用,包括在奈米尺度上分析具奈米結構與材料的組成、相、微結構,磁與光譜等分析,更進一步探討其新現象與特性,作為新的應用性質的參考。
課程大綱
1.微奈米製程技術的介紹
2.微奈米製程技術之應用與市場
3.半導體之微奈米製造技術
4.微影技術與薄膜沉積技術
5.特殊加工製程技術
6.微奈米材料簡介與產業上的實務應用
7.粒徑分析與成分分析技術
8.電子顯微鏡分析技術
9.繞射XRD分析技術簡介
10.掃描探針顯微技術的原理與應用
11.專題演講
英文大綱
1. Introduction of Micro/Nano
2. Introduction to Micro/Nano Applications and Marketing
3. Micro/Nano-Fabrication for Semiconductor
4. Lithography Technology and Thin Film Deposition
5. Other Micro/Nano Fabrication Technology
6. Introduction to Micro/Nano Materials and their Industrial Applications
7. Particle Size Analysis and Composition Analysis
8. Electron Microscopy Characterization
9. Introduction to XRD Characterization
10. Theory of Scanning Probe Microscopy and Industrial Applications
11. Special Lectures in Micro/Nano Manufacturing Fabrication and Material Analyses
下載
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