南台課程大綱
學年度 102學年第一學期 系所 光電系
課程名稱 真空技術及半導體設備 班級 夜四技光電三甲,夜四技光電四甲
授課教師 古鎮豪 點 閱 次 數 114
選修
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課程概述
介紹各種業界常用之半導體製程設備,並認識和設備相關之元件、物理、製程、材料和廠務
課程目標
使同學對目前在提煉矽晶圓到晶圓加工製程中之各種半導體製程設備有深入之了解
課程大綱
1. 晶圓成長和晶圓製作
2. 磊晶沉積設備
3. 微影照像設備
4. 化學氣相沉積爐
5. 氧化擴散高溫爐
6. 離子植入機
7. 乾蝕刻機
8. 蒸鍍機
9. 濺鍍機
10. 化學機械研磨
英文大綱
下載
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