南台課程大綱
學年度 98學年第二學期 系所 機械系
課程名稱 微機電製程技術簡介 班級 四技自控三甲
授課教師 陳毓良 點 閱 次 數 139
選修
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課程概述
讓學生對於微機電技術有總體的概念,其市場應用與理論基礎的範圍,之後再細部解說微奈米加工製程的介紹。
課程目標
使學生了解微機電技術,包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、其他特殊製程技術。
課程大綱
1.微機電介紹
2.微機電之應用與市場
3.無塵室介紹
4.半導體之微機電製造
5.微影技術
6.薄膜沉積
7.濕蝕刻技術
8.乾蝕刻技術
9.特殊加工製程技術
英文大綱
1. Introduction of MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Introduction of Cleanroom
4. MEMS-Fabrication for Semiconductor
5. Lithography
6. Thin Film Deposition
7. Wet Etching Technology
8. Dry Etching Technology
9. LIGA Process
下載
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