南台課程大綱
學年度 98學年第二學期 系所 電子系
課程名稱 VLSI製程 班級 海研電子一甲
授課教師 蔣富成 點 閱 次 數 115
選修
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課程概述
本課程是介紹製造VLSI,因此從晶圓的製造到清洗、氧化、佈植、擴散、蝕刻、金屬化、黃光、磊晶、封裝與CMP等,因此本課程所需要的一些基礎也是比較複雜與多樣化。
對於有意從事半導體產業的學生而言,這門課應該是一門很有用的科目。
課程目標
我們希望學生能透過本科目,能提供他的論文研究與日後的工作上的幫助,不至於發生無所適從的問題,而能駕輕就熟。
課程大綱
第1章 半導體工業簡介
第2章 從晶圓的製造開始
第3章 n型井的製作
第4章 p型井的製作
第5章 nMOS
英文大綱
Chapter 1 Introduction
Chapter 2 The Beginning of the Wafer Process
Chapter 3 n Well
Chapter 4 p Well
Chapter 5 nMOS
下載
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